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產(chǎn)品中心 · 光源|激光器﹥準(zhǔn)分子激光器

ATLEX-500-L準(zhǔn)分子激光器
ATLEX-500-L準(zhǔn)分子激光器

ATL Lasertechnik @ ATLEX-500-L準(zhǔn)分子激光器

產(chǎn)品負(fù)責(zé)人

陳工

姓名:陳工

電話:0431-85916189

郵箱:info@china-quantum.com


產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品特點:

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· TMC(全金屬陶瓷)管路

· 電暈預(yù)電離

· 固態(tài)開關(guān)

· 延長動態(tài)和靜態(tài)氣體壽命(數(shù)月)

· 激光頭容積6 L

· 全部風(fēng)冷

· RS-485、RS232、USB光纖接口

· 可沖洗光具座

· 集成4閥系統(tǒng),便于氣體處理

· 能量穩(wěn)定模式

· 符合歐洲CE標(biāo)準(zhǔn),符合RoHS規(guī)范

· 模塊化設(shè)計/服務(wù)友好

參數(shù)型號
型號 ATLEX-1000-L ATLEX-500-L
機械尺寸
重量 70 kg 70 kg
尺寸 600 x 415 x 567 mm 600 x 415 x 567 mm
基礎(chǔ)參數(shù)
最大重復(fù)頻率 1000 Hz 500 Hz
波長(nm) 193/248 193/248
氣體介質(zhì) ArF/KrF
ArF/KrF
高壓開關(guān)技術(shù) 固態(tài)開關(guān) 固態(tài)開關(guān)
最大脈沖能量 10/15 mJ 10/15 mJ
最大平均功率  8.0/10.0 W 4.0/6.5 W
脈沖寬度 5 – 8 ns 5 – 8 ns
光束尺寸(V x H) 6 x 4 mm 6 x 4 mm
光束發(fā)散角(V x H) 2x 1 mrad 2 x 1 mrad
能量穩(wěn)定性(標(biāo)準(zhǔn)偏差) < 2 % < 2 %
冷卻 Cooling Air / Optional Liquid Cooling Air / Optional Liquid
電力需求 230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz 230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz
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